リチウムイオン二次電池「EnerCera®」（エナセラ）シリーズ
EnerCeraは電極に独自の「結晶配向セラミックス板」を使用することで、小型・薄型でありながら大容量・高出力な二次電池です。耐熱性が高く、高温環境でも使用できます。環境発電など微弱な電力を蓄え、センシングやデータ通信などに必要な電力を適宜供給。今まで未活用だったエネルギーを有効活用し、環境負荷の低減にも貢献します。ブースではEnerCeraを活用したセンサデバイスへの適用例を紹介しています。需要が高まるメンテナンスフリーIoTデバイスに貢献することで、サステナブルに産業の発展を支えていきます。

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静電容量センサー用セラミック素子
極薄セラミック層形成技術により実現した、耐食・耐薬品性に優れた静電容量センサー素子です。対象液体の静電容量を検知することで、液量、濃度、導電率等の測定にご活用いただけます。検出電極がセラミック保護膜に覆われているため、酸・アルカリによる溶出がほとんどありません。また、保護膜が極薄のため高感度な検出な可能であり、素子の小型化に貢献します。

セラミックマイクロヒーター
セラミック成形技術と電極一体化技術の組合せにより実現した、小型セラミックヒーターです。独自の成形技術により、ご用途に合わせた様々な形状に対応できます。サイズと形状を加熱部分に合わせて必要な部分のみを急速に加熱することができます。また、電極をセラミックに埋設し、一体化した構造となっているため、耐薬品性、耐食性に優れます。

焼結PZT複合ウエハー
異種材料接合技術と高精度研磨技術により実現した、圧電MEMS用のセンサ・アクチュエータにお使いいただける複合ウエハーです。結晶性が高い焼結PZTを用いるため、圧電定数が高く、PZT膜厚は薄膜から厚膜まで対応可能。支持基板の選択自由度が高く、機能層と支持基板の間に任意の成膜層も挿入できます。デバイスの高精度化、高性能化に貢献します。

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